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小さいサイズながらも、大きな排気速度です。
装置組込みに適したコンパクトサイズです。
マグネットカップリング構造により、軸シールからの油漏れが無く、長寿命化を実現しました。
吸気管直下型逆流防止弁の搭載により、停止時にポンプ内部が自動的に大気開放します。
電源コード差込口インレットによる、電源コードの多様化へ対応しました。
強制給油機構の搭載により、排気速度が安定します。
大気圧からの作動が可能です。
理化学実験用、分析機器用、レーザー応用機器。
真空排気装置、電子顕微鏡のバック。
半導体製造装置、スパッタ装置、真空蒸着装置。
真空乾燥器、凍結乾燥器。
リークディテクタ。
排気速度(L/min)50/60Hz:100/120
到達圧力(Pa):0.67
吸気口径(mm):KF-25
電源(V):単相100V
全幅(mm):150
全長(mm):413.5
全高(mm):234.5
サーマルプロテクタ付:○
使用油:R-2
電源コード長さ(m):なし
2段排気方式
CEマーキング自己宣言品
TUV、cTUVus認証取得品
一台から異電圧に別作対応
真空ポンプ油は運転とともに劣化し、性能不足の要因となります。定期的に油の減少や汚れを確認し、補充や交換をしてください。
排気口からの油煙(オイルミスト)が大気圧付近では特に発生します。
排気口を塞いだり、排気口側にガスの通過を妨害する機器を付けた状態で、ポンプを運転すると破裂の恐れがあります。ポンプ内圧が上昇して、ポンプ本体が破裂したり、オイルレベルゲージが飛び出したり、モータが過負荷になる恐れがあります。
このモータの過負荷保護装置は、自動復帰型です。